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SGM

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SGM est produit spécifiquement pour l’utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs et de micro-électronique pour le contrôle de gaz acides tels que le sulfure d’hydrogène (H2S) et le dioxyde de soufre (SO2). Il s’agit d’un milieu de lavage à sec exempt de carbone qui ne produit pas de sous-produits réactifs non désirés tels que les oxydes d’azote (NOx, NO, NO2), qui sont connus pour causer des défauts sur les plaquettes exposées.